发明名称 |
碳纳米管阴极的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种碳纳米管阴极的制备方法,对不锈钢衬底表面进行抛光处理,在不锈钢衬底表面上形成具有一定粗糙度的粗糙表面;不锈钢衬底放入磁控溅射室,对磁控溅射室抽真空至预定真空度,在粗糙表面磁控溅射预定厚度的钛过渡层,将溅射有钛过渡层的不锈钢衬底放入化学气相沉积室,向化学气相沉积室通入乙炔,乙炔在衬底上化学气相沉积以形成碳纳米管;在真空环境下对形成的碳纳米管进行退火处理。退火处理时,钛与碳纳米管和衬底反应,将碳纳米管和衬底有机的结合,增强了二者的结合强度,减小了界面接触电阻,增强了电子转移能力,碳纳米管阴极中的碳纳米管使用上述方法制备,能提高碳纳米管阴极的性能。 |
申请公布号 |
CN103811240B |
申请公布日期 |
2017.01.25 |
申请号 |
CN201310724826.8 |
申请日期 |
2013.12.24 |
申请人 |
兰州空间技术物理研究所 |
发明人 |
王永军;李得天;成永军;振华;张虎忠;赵澜;盛学民 |
分类号 |
H01J1/02(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01J1/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 |
代理人 |
孟阿妮 |
主权项 |
一种碳纳米管阴极的制备方法,其特征在于,对不锈钢衬底表面进行抛光处理,以在所述不锈钢衬底表面上形成具有一定粗糙度的粗糙表面;将抛光处理好的不锈钢衬底放入磁控溅射室,对磁控溅射室抽真空至预定真空度,在所述粗糙表面磁控溅射预定厚度的钛过渡层,之后将溅射有钛过渡层的不锈钢衬底放入化学气相沉积室,向所述化学气相沉积室通入乙炔,乙炔在所述衬底上化学气相沉积以形成碳纳米管;在对所述磁控溅射室加温时,向所述磁控溅射室充入氩气,并且在溅射钛的过程中,逐渐增加所述衬底的偏压;在真空环境下对形成的所述碳纳米管进行退火处理。 |
地址 |
730013 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 |