电极制备方法、电极部件和特种加工平台

摘要

一种电极制备方法、电极部件和特种加工平台，其中，所述制备方法包括：将用于制备电极的基底固定在加工平台上；向基底的待成形区域提供原料气体；向基底的待成形区域照射聚焦离子束，以在待成形区域生长电极。相对于现有技术中磨、削等方式制备电极，一方面采用聚焦离子束的方式制备电极，能够提高电极精度，通常聚焦离子束的精度能够达到纳米级；另一方面，由于采用生长的方式制备电极，相对于磨削等摒弃多余原料的方式，能够更有效地利用原料，从而节省了电极制备成本。此外，采用生长式制备电极，可制备具有复杂形状的三维电极，进行较为复杂的三维加工。

主权项

一种电极制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将用于制备电极的基底固定在加工平台上；向所述基底的待成形区域提供原料气体；向所述基底的待成形区域照射聚焦离子束，以在所述待成形区域生长电极。