发明名称 | 一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置。当前,企业在对硅片进行抛光加工时采用的加持装置均为电磁式,这种方式的加持设备不仅购买成本高,而且结构复杂,维修成本极高,不利于企业的低成本管理,存在不足。本实用新型涉及一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置,其中:本体边缘与外环固定连接,本体中部与支撑环固定连接,本体内部设有气孔,气孔通过密封垫圈与接头连通,接头通过气管与风机连通,风机与排气管连通。本装置采用真空结构,不仅购买成本低,而且设备的结构简单,易于维修,同时维修成本较低,有利于企业的低成本管理。 | ||
申请公布号 | CN205904874U | 申请公布日期 | 2017.01.25 |
申请号 | CN201620670184.7 | 申请日期 | 2016.06.30 |
申请人 | 江西大杰新能源技术有限公司 | 发明人 | 支秉旭 |
分类号 | B24B41/06(2012.01)I | 主分类号 | B24B41/06(2012.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置,包括本体(1)、支撑环(2)、外环(3);其特征在于:本体(1)边缘与外环(3)固定连接,本体(1)中部与支撑环(2)固定连接,本体(1)内部设有气孔(6),气孔(6)通过密封垫圈(7)与接头(8)连通,接头(8)通过气管(9)与风机(10)连通,风机(10)与排气管(11)连通。 | ||
地址 | 335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区 |