一种PECVD沉积槽

摘要

本实用新型公开了一种PECVD沉积槽；其包括底板，底板的两侧均设置有侧板，侧板的上端向外延伸有上边沿，底板设置有若干个与氨气特气管路相连接的第一气孔，底板在第一气孔的两侧均设置有第一挡板，上边沿设置有若干个与硅烷特气管路相连接的第二气孔，上边沿在第二气孔的内侧设置有第二挡板；第一挡板和第二挡板的设置，使得氨气通过第一气孔后、硅烷通过第二气孔后气流直接往上运动，减少气体向四周扩散，避免了因沉积槽与特气管路之间沉积太多氮化硅而引起的堵塞，本实用新型的PECVD沉积槽不仅结构简单，而且延长了设备的更换周期，减少了维护时间。

主权项

一种PECVD沉积槽，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的两侧均设置有侧板(2)，所述侧板(2)的上端向外延伸有上边沿(3)，所述底板(1)设置有若干个与氨气特气管路相连接的第一气孔(11)，所述底板(1)在所述第一气孔(11)的两侧均设置有第一挡板(4)，所述上边沿(3)设置有若干个与硅烷特气管路相连接的第二气孔(31)，所述上边沿(3)在所述第二气孔(31)的内侧设置有第二挡板(5)。