| 摘要 |
DLC 피막 형성 부재(10)에서는 중간층(14)이 기재(12)와 DLC 피막(16) 사이에 배치된다. 이 중간층(14)은 상기 기재(12)로부터 유래된 구성 금속 원자와 다이아몬드 라이크 카본을 함유하는 복합층이다. 예컨대, 이러한 중간층(14)은 플라즈마 층 형성 공정에서 기재(12)에 대하여 부 바이어스를 인가하면서 부 바이어스의 절대값을 시간의 경과와 함께 감소시킴으로써 형성될 수 있다. 탄소 타깃 또는 탄화수소 가스는 탄소원으로서 사용될 수 있다. |
