一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供了一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法，陀螺包括一个具有上表面的长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形空腔的正上方是一个半球谐振体，半球谐振体的边缘键合在基底的上表面，且边缘有两层梯状以引出电极线；半球谐振体的四周边缘键合在基底上，有着很好的稳定性和抗冲击能力。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。

主权项

一种微型吹塑半球谐振器陀螺，其特征在于，包括：一个具有上表面的长方形基底；一个位于所述基底中心部分的圆柱形空腔；一个位于所述圆柱形空腔正上方的半球谐振器；其中：所述半球谐振器的四周边缘平行地键合在所述基底的上表面，且所述半球谐振器的边缘有两层梯状体以引出电极线；所述半球谐振器有四层，从下到上依次为：下玻璃层、离散电极层、上玻璃层、连续电极层，其中：所述下玻璃层与离散电极层构成一个整体的第一半球形泡，所述上玻璃层与连续电极层构成一个整体的第二半球形泡，所述第一半球形泡与所述第二半球形泡通过边缘键合，所述第二半球形泡比所述第一半球形泡半径大故在所述第一半球形泡与所述第二半球形泡之间留有间隙。