一种双向转动高效硅片抛光机

摘要

本实用新型涉及一种双向转动高效硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机均为单向转动的模式，这种转动模式相对速度较低，在同等产量的前提下需要更多的时间才能完成，抛光效率较低，存在不足。本实用新型涉及一种双向转动高效硅片抛光机，其中：第一从动带轮与磨轮同轴连接，磨轮上部设有磨齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与弹簧室固定连接，弹簧室内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，抛光液箱通过管道与喷头连通。本装置采用双向转动模式，硅片与磨轮同时具有相反的转动，大大提高了相对转速，提高抛光效率。

主权项

一种双向转动高效硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一传动带（3）、第一主动带轮（4）、第一从动带轮（5）、磨轮（6）、磨齿（7）、第二电机（8）、第二主动带轮（9）、第二传动带（10）、第二从动带轮（11）、弹簧室（12）、弹簧（13）、固定块（14）、抛光液箱（15）、管道（16）、喷头（17）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（4）同轴连接，第一主动带轮（4）通过第一传动带（3）与第一从动带轮（5）连接，第一从动带轮（5）与磨轮（6）同轴连接，磨轮（6）上部设有磨齿（7），第二电机（8）与第二主动带轮（9）同轴连接，第二主动带轮（9）通过第二传动带（10）与第二从动带轮（11）连接，第二从动带轮（11）与弹簧室（12）固定连接，弹簧室（12）内部设有弹簧（13），弹簧（13）与固定块（14）连接，抛光液箱（15）通过管道（16）与喷头（17）连通。