样品水平度测试装置和方法

摘要

本发明公开了一种样品水平度测试装置和方法。该样品水平度测试装置包括：样品台面，所述样品台面配置为用于盛放样品；半透半反镜，所述半透半反镜与所述样品台面相对设置，半透半反镜与所述样品台面呈预定角度；发光组件，所述发光组件包括发光器，所述发光器配置为能透过所述半透半反镜向所述样品台面照射检测光束，被所述样品台面上的样品反射回的检测光束经半透半反镜的反射后射向检测组件；检测组件，所述检测组件和所述样品台面处在所述半透半反镜的同一侧，所述检测组件包括靶面和设置在靶面上的光学传感器，所述靶面配置为能够接收经样品和半透半反镜反射的检测光束，所述光学传感器配置为感应检测光束在靶面上的照射位置。

主权项

一种样品水平度测试装置，包括：样品台面(1)，所述样品台面(1)配置为用于盛放样品；半透半反镜(2)，所述半透半反镜(2)与所述样品台面(1)相对设置，半透半反镜(2)与所述样品台面(1)呈预定角度；发光组件，所述发光组件包括发光器(31)，所述发光器(31)配置为能透过所述半透半反镜(2)向所述样品台面(1)照射检测光束，被所述样品台面(1)上的样品反射回的检测光束经半透半反镜(2)的反射后射向检测组件；检测组件，所述检测组件和所述样品台面(1)处在所述半透半反镜(2)的同一侧，所述检测组件包括靶面(41)和设置在靶面(41)上的光学传感器，所述靶面(41)配置为能够接收经样品和半透半反镜(2)反射的检测光束，所述光学传感器配置为感应检测光束在靶面(41)上的照射位置。