硅微机械四通道循环流式平面双轴角速度传感器

摘要

本申请公开了一种硅微机械四通道循环流式平面双轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括四通道循环流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和四对分别位于不同射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述四通道循环流式平面双轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在四个不同的射流敏感室内分别与四个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体，两个方向上的角速度灵敏度几乎一致，便于实际应用。

主权项

一种硅微机械四通道循环流式平面双轴角速度传感器，所述气流式角速度传感器由四通道循环流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，所述的缓冲硅胶片、四通道循环流式平面双轴角速度芯片和与其实现电气连接的PCB电路板依次装在底座上，扣上外壳密封，电源和信号经底座上玻璃灌装的引线引出，所述四通道循环流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，所述压电陶瓷圆振子嵌入至所述PET上盖上；所述上硅板上设置有射流网络；所述下硅板上设置有射流网络和热线；所述PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。