发明名称 |
一种两自由度运动真空吸盘管线结构 |
摘要 |
本发明公开了一种两自由度运动真空吸盘管线结构,包括气管、转接头、滑轨、滑块、拖链,气管可随真空吸盘实现在X和Y方向两自由度运动。本发明结合微分思想采用短截气管实现真空吸盘沿X方向运动所有气管总形变量不变及真空吸盘Y方向运动时拖链约束原理,实现对气管运动的约束限制,保证机台正常工作。本发明结构简单,设计合理。 |
申请公布号 |
CN104678717B |
申请公布日期 |
2017.01.25 |
申请号 |
CN201510094791.3 |
申请日期 |
2015.03.03 |
申请人 |
合肥芯硕半导体有限公司 |
发明人 |
宋耀东;项宗齐;王晓光 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 |
代理人 |
余成俊 |
主权项 |
一种两自由度运动真空吸盘管线结构,该结构设置在机台上,包括真空吸盘,其特征在于:所述真空吸盘正下方设有支撑板,所述支撑板设置在机台上,所述真空吸盘下表面中间安装有装接头,所述支撑板上表面左右两侧分别设有滑轨,所述滑轨中间分别设有转接头,所述支撑板左右两端亦设有转接头,各转接头之间连接有短截气管,还包括拖链一和拖链二,所述拖链一的一端和拖链二的一端分别固定在支撑板端上,拖链一的另一端和拖链二的另一端分别固定在机台上,所述拖链一上固定有气管一,拖链二上固定有气管二。 |
地址 |
230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号 |