发明名称 监测设备机台状况的方法
摘要 本发明提出了一种监测设备机台运行状态的方法,通过EAP服务器收集设备运行状态数据,并进入数据库,经过服务器对所述数据值的处理和分析,从而判断控制基板是否存在异常,达到对控制基板进行实时监控的目的,及时侦测故障并通知技术人员进行相应处理,避免造成更大损害,能够提高设备机台的利用率并达到一定的经济效益。
申请公布号 CN103871934B 申请公布日期 2017.01.25
申请号 CN201410098498.X 申请日期 2014.03.17
申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 发明人 葛斌
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种监测设备机台状况的方法,包括步骤:EAP服务器间隔预定时间t向设备机台内部的控制基板发送索取数据值的信号;所述控制基板将所述数据值反馈至所述EAP服务器内;所述EAP服务器对所述数据值进行处理,并判断所述控制基板是否存在异常,所述EAP服务器对所述数据值进行处理包括:记录不同时间点的数据值D<sub>1</sub>、D<sub>2</sub>…D<sub>n</sub>;数据处理后生成判断差值d<sub>n</sub>=D<sub>n</sub>‑D<sub>n‑k</sub>在连续时间T之内是否均为0,若所述差值d<sub>n</sub>在连续时间T之内均为0,则说明控制基板反馈的数据已经不变化,可推断出控制基板存在异常;其中,所述数据值D<sub>1</sub>、D<sub>2</sub>…D<sub>n</sub>分别为预定时间为1t、2t…nt时,所述控制基板反馈至所述EAP服务器内的不同数据值;所述差值d<sub>n</sub>=D<sub>n</sub>‑D<sub>n‑k</sub>,n为正整数,k为小于n的正整数。
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