激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，对因激光光线的输出变化或在光学系统中产生的畸变而导致的激光加工槽的宽度变化进行监视。该装置的激光光线照射构件包含：脉冲激光光线振荡构件；聚光器，其对脉冲激光光线进行会聚而照射到保持在卡盘工作台上的被加工物；分色镜，其配设在脉冲激光光线振荡构件与聚光器之间；闪光灯光照射构件，其对配设分色镜和聚光器的路径照射光；分束器，其配设在闪光灯光照射构件与分色镜之间；和拍摄构件，其配设在借助分束器而分支的路径上。控制构件使闪光灯光照射构件和拍摄构件按照照射到被加工物的脉冲激光光线的时机进行动作，根据来自拍摄构件的图像信号对刚刚照射了脉冲激光光线后的激光加工槽的宽度进行检测。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光光线照射构件，其对保持在该卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线；X轴方向移动构件，其使该卡盘工作台和该激光光线照射构件在作为加工进给方向的X轴方向上相对地移动；Y轴方向移动构件，其使该卡盘工作台和该激光光线照射构件在与X轴方向垂直的作为分度进给方向的Y轴方向上相对地移动；以及控制构件，其对该激光光线照射构件、该X轴方向移动构件以及该Y轴方向移动构件进行控制，该激光光线照射构件包含：脉冲激光光线振荡构件，其振荡出脉冲激光光线；聚光器，其对从该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线进行会聚而对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行照射；分色镜，其配设在该脉冲激光光线振荡构件与该聚光器之间，对从该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线进行反射而引导至该聚光器，并且使波长为脉冲激光光线的波长以外的光透过；闪光灯光照射构件，其对配设有该分色镜和该聚光器的路径照射光；分束器，其配设在该闪光灯光照射构件与该分色镜之间，对来自保持在该卡盘工作台上的被加工物的光进行分支；以及拍摄构件，其配设在借助该分束器而分支的路径上，该控制构件使该闪光灯光照射构件和该拍摄构件按照由该脉冲激光光线振荡构件振荡并照射到保持在该卡盘工作台上的被加工物的脉冲激光光线的时机进行动作，根据来自该拍摄构件的图像信号对刚刚照射了脉冲激光光线后的激光加工槽的宽度进行检测。