| 摘要 |
고품질인 다공성의 이미드계 수지막을 제조 가능한 도포 장치 및 다공성의 이미드계 수지막 제조 시스템을 제공한다. 소정 방향으로 이동하는 띠 모양 기재(S1)와 폴리아미드산, 폴리이미드, 폴리아미드이미드 또는 폴리아미드, 및 미립자를 포함하는 제1 도포액(Q1)을 띠 모양 기재(S1) 위에 도포하여서 제1 도포막(F1)을 형성하는 제1 노즐(12)과, 폴리아미드산, 폴리이미드, 폴리아미드이미드 또는 폴리아미드, 및 미립자를 포함하고, 적어도 제1 도포액(Q1)에 대해서 미립자의 함유율이 상이한 제2 도포액(Q2)을 제1 도포막(F1) 위에 도포하여서 제2 도포막(F2)을 형성하는 제2 노즐(13)을 구비하는 도포 장치 및 다공성의 이미드계 수지막 제조 시스템. |
