发明名称 METHOD FOR PRODUCING DRY ETCHING GAS
摘要 드라이 에칭 가스 등으로 유용한 불화메탄과 3,3,3-트리플루오로-2-(트리플루오로메틸)프로파노일플루오라이드((CF)CHCOF)를, 고순도로, 안전하며 또한 염가로 제조할 수 있는 방법을 제공한다. 촉매의 존재 하에서, 1,1,3,3,3-펜타플루오로-2-트리플루오로메틸프로필메틸에테르를 기체상 상태에서 열분해시키는 방법에 의하면, 염가의 원료를 이용하여 기체상에서의 열분해 반응과 같은 간단한 방법에 의해, 높은 원료 전화율로, 선택성 좋게, 목적으로 하는 불화메탄과 3,3,3-트리플루오로-2-(트리플루오로메틸)프로파노일플루오라이드를 얻을 수 있다.
申请公布号 KR20170010104(A) 申请公布日期 2017.01.25
申请号 KR20177001484 申请日期 2013.11.12
申请人 다이킨 고교 가부시키가이샤 发明人 나카무라 신고;에토 유우스케;오츠카 다츠야;후쿠모토 가나코;나이토 마사토
分类号 C07C17/361;C07B61/00;C07C17/383;C07C19/08;C07C51/58;C07C51/64;C07C53/50 主分类号 C07C17/361
代理机构 代理人
主权项
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