| 摘要 |
본 발명은 진공 증착조, 상기 진공 증착조 내에 구비된 교반조; 상기 교반조 내에 구비되고 담체를 교반하는 스크류; 및 상기 진공 증착조 내에 교반조 상부에 구비되고 나노입자 형성을 위한 증기 입자를 발생시키는 증착원으로 구성되는, 담체에 부착된 나노 파우더 제조 장치를 사용하고, a) 상기 진공 증착조의 진공도가 10내지 1 torr 가 되도록 불활성 기체를 진공 증착조에 포함시키는 단계; b) 상기 증착원을 이용하여 나노입자 형성을 위한 증기 입자를 발생시키는 단계; c) 상기 스크류의 속도를 1 내지 200rpm으로 조절하여 담체를 교반하는 단계; 및 d) 상기 담체 상에 증기 입자를 증착하여 나노입자를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 담체에 부착된 나노 파우더 제조 방법을 제공한다. |
