| 摘要 |
여기서는, 특히, 도전성 프레임, 상기 도전성 프레임에 연결되어 있는 실리콘 다이, 및 상기 도전성 프레임 및 상기 실리콘 다이에 고정되어 있는 절연체 수단을 포함하고, 상기 실리콘 다이는, 진동 다이어프램(vibratory diaphragm)을 포함하고, 또 실리콘 다이 표면부와 그 반대측의 실리콘 다이 바닥부를 가지며, 실리콘 다이 포트가 상기 실리콘 다이를 관통해서 상기 진동 다이어프램까지 연장되고, 실리콘 다이 단자가 상기 도전성 프레임과 전기적으로 소통되어 있으며, 상기 절연체 수단은, 상기 도전성 프레임 내의 간극(interstices)을 통해 상기 도전성 프레임의 도전성 프레임 바닥부까지 연장되어 있고 또 실리콘 다이의 외측부를 둘러싸면서 상기 실리콘 다이 표면부까지 연장되어 있으며, 상기 절연체 수단은 상기 실리콘 다이 및 상기 도전성 프레임에 물리적으로 고정되어 있고, 상기 실리콘 다이 포트는 노출되어 있고, 도전성 프레임 단자가 상기 도전성 프레임 바닥부에 배치되어 있으면서 상기 실리콘 다이 단자와 전기적으로 소통되어 있는 장치에 대해 논의된다. |
