| 摘要 |
탐침 구조체가 개시된다. 탐침 구조체는 베이스층; 상기 베이스층의 상면에 형성되고, 상기 베이스층의 상면에서 서로 이격된 상태로 배치된 복수의 탐침 패턴; 상기 베이스층 및 상기 복수의 탐침 패턴을 덮는 절연층; 상기 탐침 패턴의 상면에 형성되고, 상기 탐침 패턴의 상면에서 서로 이격된 상태로 배치되며, 상기 절연층을 관통하여 외부로 일부가 노출된 복수의 범프들; 및 상기 베이스층의 하면에 형성되고, 상기 베이스층을 지지하며, 상기 베이스층의 변형을 방지하는 기판을 포함한다. |
