| 摘要 |
피처리 기판에 대해 마이크로·나노 버블을 함유하는 처리액의 분사라는 간편한 방법만으로, 환경에 대한 부하를 저감시키면서, 기판 상의 레지스트 잔류물 부착의 박리 혹은 오염물의 제거를, 효율적으로, 또한, 확실하게 실시할 수 있는 마이크로·나노 버블에 의한 세정 방법 및 세정 장치를 제공한다. 본 발명의 세정 방법은, 기판 상에 레지스트막이 부착된 피처리 기판 혹은 표면이 금속 또는 금속 화합물로 오염된 피처리 기판에 대해, 빙 포매법에 의해 크라이오 투과형 전자 현미경으로 측정했을 때의 평균 입경이 100 nm 이하, 바람직하게는 30 nm 이하이며, 더욱 바람직하게는, 그 밀도가 1 ㎖ 당 10개 이상인 기체의 마이크로·나노 버블을 함유하고, 또한, 온도가 30 ∼ 90 ℃ 로 유지되어 있는 처리액을 분사함으로써, 상기 레지스트막의 박리 혹은 상기 금속 또는 금속 화합물의 제거를 실시하는 것을 특징으로 한다. |
