| 摘要 |
본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것으로, 상온에서 고체인 유기금속 화합물이 담긴 충전 용기로 캐리어 가스를 공급하여 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 생성하여 공급하기 위한 것이다. 유기금속 화합물 공급 장치용 용기는 용기 몸체와 적어도 하나의 격벽을 포함한다. 용기 몸체는 고체의 유기금속 화합물이 충전될 수 있는 충전 공간을 가지며, 바닥면을 관통하여 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 이동할 수 있는 연결 통로가 형성되어 있다. 그리고 적어도 하나의 격벽은 용기 몸체의 충전 공간에 형성되어 충전 공간을 구획하되, 구획된 충전 공간 부분을 서로 연결되게 형성하여 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 이동할 수 있는 유로를 형성한다. |
