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resumo patente de invenção: "método de medição de distância interferométrica para medir superfícies e arranjo de medição". a presente invenção refere-se a um método de medição de distância (13). um feixe de laser, cujo comprimento pode ser ajustado em uma faixa de comprimento de onda, modulando a frequência da fonte de laser (1), é gerado com um comprimento de coerência, para prover um feixe de medição (ms), e sendo emitido na superfície (13), localizada dentro de uma faixa de distância especificada, como feixe de medição. o feixe de medição (ms), refletido disperso pela superfície (13), é recebido de novo e usado para medir por interferometria a distância a um ponto de referência à superfície (13), onde um braço interferométrico de medição e referência é usado. a faixa de distância especificada fica pelo menos parcialmente fora do comprimento de coerência e o feixe de medição é separado em duas porções de feixe. uma das porções de feixe é temporariamente atrasada com respeito à outra porção, de modo que uma diferença de trajetória ótica causada pelo atraso corresponda à diferença de trajetória ótica que corresponde a uma distância na faixa de distância especificada, mais ou menos o comprimento de coerência do laser. 20084566v1 |
