| 摘要 |
본 발명은 샘플을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 이 장치는: 샘플(15)을 고정하기 위한 샘플 홀더(150), 일차 하전 입자 빔들의 어레이(3)를 생성하기 위한 멀티 빔 하전 입자 생성기, 샘플 홀더에서 일차 하전 입자 빔들의 어레이를 개별 포커싱된 일차 하전 입자 빔들의 어레이로 향하게 하기 위한 전자기 렌즈 시스템(13), 일차 하전 입자 빔들이 샘플 상에 충돌할 때 또는 샘플을 통한 일차 하전 입자 빔들의 전송 후에 포커싱된 일차 하전 입자 빔들에 의해 생성된 광자들을 검출하도록 배치된 멀티 픽셀 광자 검출기(20), 및 멀티 픽셀 광자 검출기의 픽셀들을 구별 및/또는 분리하거나 또는 픽셀들의 그룹들을 구별 및/또는 분리하도록 개별 포커싱된 일차 하전 입자 빔들의 어레이의 적어도 두 개의 인접한 포커싱된 일차 하전 입자 빔들에 의해 생성된 광자들(30, 31, 32)을 수송하기 위한 광학 어셈블리(40)를 포함한다. |
