| 摘要 |
일 실시 형태에 따른 데이터 생성 장치는, 대상물 상에 에너지빔을 조사하여 패턴을 묘화하는 에너지빔 묘화 장치용으로, 상기 대상물 상의 각 픽셀에 있어서의 빔의 조사량을 포함하는 데이터를 생성한다. 이 데이터 생성 장치는, 묘화 데이터에 기초하여 각 픽셀의 제1 조사량을 산출하는 목표 조사량 산출부와, 각 픽셀에 대하여, 소정의 조사량 제어 단위에 기초하여 상기 제1 조사량을 라운딩하여 제2 조사량을 산출하는 조사량 라운딩부와, 각 픽셀에 대하여, 상기 제1 조사량과 상기 제2 조사량과의 차분인 제1 차분을 산출하는 차분 산출부와, 인접하는 복수의 픽셀을 그룹화한 제1 그룹 내에 있어서의 상기 제1 차분의 합계를 산출하는 차분 합계값 산출부와, 상기 조사량 제어 단위 및 상기 제1 차분의 합계에 기초하는 조사량을 상기 제1 그룹 내의 픽셀에 할당하여, 각 픽셀의 제3 조사량을 산출하는 할당부를 구비한다. |
