| 摘要 |
본 발명의 과제는, 에너지 효율이 높고, 열교환기의 배관의 부식을 방지할 수 있고 게다가, 배수량을 삭감하고, 고순도의 불화칼슘을 효율적으로 회수할 수 있는 과불화물의 처리 방법 및 과불화물 처리 장치를 제공한다. 나아가, 설비 및 설치 장소가 작고 효율이 높은 과불화물 처리 장치를 제공한다. 본 발명은 과불화물을 포함하는 배기 가스와 물 또는 수증기를 열교환기(2)에 공급하고, 고온의 분해 가스와 열교환함으로써 예열하고, 더 가열하여, 촉매(12)로 분해한다. 불화수소 가스를 포함하는 분해 가스를, 열교환기(2)로 냉각한 후, 불화수소 가스를 산성 가스 제거 장치(31) 내에서, 칼슘염과 반응시켜서 고순도의 불화칼슘을 얻을 수 있다. 이 칼슘염의 공급 및 배출을, 산성 가스 제거 장치로부터의 배기 중의 불화칼슘 농도 또는 상기 장치 내의 칼슘염의 온도에 기초하여 제어한다. |
