| 摘要 |
웨이퍼의 출납을 용이하게 할 수 있음과 함께, 도금액이 내부에 잔류하기 어려운 도금용 지그를 제공한다. 본 발명에 따른 도금용 지그(10)는, 피도금 기재인 웨이퍼(7)의 한쪽 면에 맞닿는 보유 지지 베이스 본체(121)와, 보유 지지 베이스 본체(121)와 독립적으로 웨이퍼(7)의 면에 대하여 평행으로 이동 가능한 복수의 걸림 지지부(122)를 갖는 보유 지지 베이스(12)와, 웨이퍼(7)의 다른 쪽 면의 외측 테두리에 맞닿는 덮어씌움 부재 본체(131)와, 덮어씌움 부재 본체(131)로부터 외측을 향하여 돌출된 복수의 피걸림 지지부(132)를 갖는 덮어씌움 부재(13)를 구비한다. 복수의 걸림 지지부(122)를 이동시켜 복수의 피걸림 지지부(132)를 걸림 지지하고, 웨이퍼(7)를 보유 지지 베이스(12) 및 덮어씌움 부재(13) 사이에 끼워서 보유 지지한다. |
