| 摘要 |
투명 도전층의 비저항이 낮으며, 또한, 두께가 얇다는 특성을 가짐과 함께, 크랙 내성이 우수한 투명 도전성 필름 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 실시형태의 투명 도전성 필름 (1) 은, 고분자 필름 기재 (2) 와, 고분자 필름 기재 (2) 의 주면 (2a) 상에 형성된 투명 도전층 (3) 을 갖고 있다. 투명 도전성 필름 (1) 은 장척상으로서, 롤상으로 권회되어 있어도 된다. 투명 도전층 (3) 은 인듐 주석 복합 산화물로 이루어지는 결정질 투명 도전층이고, 잔류 응력이 600 ㎫ 이하, 비저항이 1.1 × 10Ω·㎝ ∼ 3.0 × 10Ω·㎝, 두께가 15 ㎚ ∼ 40 ㎚ 이다. |
