| 发明名称 |
METHODS OF FORMING ELECTRONIC DEVICES |
| 摘要 |
전자 디바이스의 형성 방법이 제공된다. 이 방법은 포토레지스트 패턴을 알칼리 처리하고, 고밀도 레지스트 패턴을 형성하도록 하는 단계를 포함한다. 이 방법은 반도체 장비 제조에 특히 유용하다. |
| 申请公布号 |
KR101698396(B1) |
申请公布日期 |
2017.01.20 |
| 申请号 |
KR20100061494 |
申请日期 |
2010.06.28 |
| 申请人 |
롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 |
发明人 |
배영철;카도랙시아 토마스;류 이 |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/004;G03F7/26 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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