| 摘要 |
본 발명은 기존의 탐침 접촉식 재물대뿐만 아니라 전선 결선식 재물대를 사용할 수 있도록 함으로써 온도 스위프(sweep)에 관계없이 연속적인 데이터를 얻을 수 있는 극저온 프로브 스테이션에 관한 것이다. 본 발명에 의한 극저온 프로브 스테이션은 진공 분위기를 만들도록 구성된 진공 챔버; 측정하고자 하는 시료를 하부에서 지지하며 전기 신호를 인가하고 감지하도록 상기 진공 챔버 내에 장착된 전선 결선식 재물대; 상기 전선 결선식 재물대를 수용 및 분리 가능하도록 형성된 수용홈을 구비한 재물대 수용부; 상기 재물대 수용부에 열전도체를 통해 극저온의 냉기를 제공하도록 구성된 극저온 흡열부; 및 상기 재물대 수용부로부터 일정거리만큼 이격되어 설치되어서 자기장을 발생시키는 자기장 발생부를 포함한다. |
