レーザ加工装置、および、レーザ加工方法

摘要

【課題】加工速度の向上を図ることができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ光線を発する光源と、前記光源から発せられるレーザ光線を反射して偏向走査させる複数のミラー面を備え回転駆動されるポリゴンミラーと、被加工物表面または当該表面近傍に前記ポリゴンミラーにより反射されるレーザ光線の焦点を結ばせる集光レンズと、前記レーザ光線の光路中に当該レーザ光線を複数の光線に分岐させる回折格子と、を少なくとも備えているレーザ加工装置。【選択図】図１