傾けられた格子及び傾けられた格子の製造方法

摘要

【課題】本発明は、スキャンされる対象物を通過するコヒーレントな放射線の位相情報を視覚化する位相コントラスト撮像に関する。コーンビームジオメトリの場合、強い位相コントラストゆがみは、撮像野（ＦＯＶ）の中心の外側領域において起こる【解決手段】関心対象物を検査する位相コントラスト撮像装置に関する格子が提供される。光軸に対する特定の角度の投影において台形プロファイルの作成を減らす集束格子が使用される。レーザーサポート法は、斯かる集束格子構造を作成する専用のエッチング処理と組み合わせて使用される。【選択図】 図８