摘要 |
Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur vorgeschlagen, wobei die erste Struktur zumindest teilweise in einer ersten Ebene parallel zu der Haupterstreckungsebene angeordnet ist, wobei die zweite Struktur zumindest teilweise in der ersten Ebene angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehratensensor mindestens eine mit der ersten Struktur verbundene mechanische Brücke in einer zweiten Ebene parallel zu der Haupterstreckungsebene umfasst, wobei die Projektion der mechanischen Brücke auf die Haupterstreckungsebene zumindest teilweise die Projektion der zweiten Struktur auf die Haupterstreckungsebene umfasst. |