| 摘要 |
【課題】アーム部の動作を制限することなく、耐久性に優れた搬送装置を提供する。【解決手段】第１搬送装置１７の静電ピック４４をプロセスモジュール１２に進入させ、ウエハＷを静電ピック４４に静電吸着する。第１搬送装置１７を駆動してウエハＷをロードロックモジュール１４へ搬送する際に、静電ピック４４を電気的にフロート状態としてウエハＷを静電ピック４４に静電吸着させた状態を維持し、ウエハＷのロードロックモジュール１４への搬送が終了した後に静電ピック４４を除電し、ウエハＷが静電ピック４４に静電吸着された状態を解除する。【選択図】図３ |
