チャックアセンブリを有する極端紫外線リソグラフィーシステム及びその製造方法

摘要

ＥＵＶリソグラフィーシステム及びその製造方法は、ＥＵＶ光源と、所定のチャック平坦度を有する表面を有する、熱伝導性があり平滑なチャックと、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光をチャックの表面上に向けるための反射レンズ系とを含む。