| 摘要 |
セル部の周辺に形成されたペリ部の相違に関係なく、正確に欠陥を検出可能な検査装置が実現される。ウエハ上に配列されたダイ２０１〜２Ｎ１は互いに同一の仕様で製作されており、互いに同一のパターンが繰り返して製作された複数のセル部２０２〜２０ｎが形成されている。セル部とセル部との間にはペリ部が形成されている。ペリ部はパターンＡ、Ｂ、Ｃのように、複数種類となっているため、互いに同一形状のセル部であっても、周辺のペリ部の相違により影響を受けて断面イメージが異なるものとなる場合がある。そこで、ペリ部近傍のセル部領域で虚報が発生することを防止するため、周辺ペリ部が同一のセル部どうしを位置合わせして差分を検出し、欠陥の有無を判断することにより虚報の発生を防止する。 |
