蒸着装置

摘要

【課題】蒸発源のメンテナンス作業が行いやすい蒸着装置の提供。【解決手段】蒸着材料を収容する蒸発源２を蒸発源設置部40に設置して蒸着を行う蒸着装置であって、蒸発源設置部40を囲む遮蔽部５を設け、蒸発源設置部40に設置される蒸発源２から基板１に向かって放出される成膜材料の蒸発粒子の基板１への入射角を制限する制限板４を遮蔽部５の上方位置に設け、制限板４は、遮蔽部５に対して可動自在に設けた構成とし、遮蔽部５には、開閉部６を設けた蒸着装置。【選択図】図２