| 摘要 |
【課題】傾斜基板を用いつつ、断面形状が等方的な光を射出することができる面発光レーザを提供する。【解決手段】 発光部は、基板、バッファ層、下部半導体ＤＢＲ、下部スペーサ層、活性層、上部スペーサ層、上部半導体ＤＢＲ、コンタクト層、保護膜、上部電極、下部電極などを有している。基板は、基板表面の法線方向が、結晶方位［１ ０ ０］方向に対して、結晶方位［１ １ １］Ａ方向に向かって１５度傾斜した傾斜基板である。また、発光部のメサ構造体は六角柱状であり、該メサ構造体の横断面形状である六角形を構成する３組の対向する２辺のうち、一の組の対向する２辺が基板の傾斜方向に平行である。この場合は、酸化狭窄構造における非酸化領域の形状が六角形となり、断面形状が等方的な光を射出することができる。【選択図】図５ |
