| 摘要 |
【課題】処理中におけるウェハカセットへのウェハの貼り付きを防止して、ウェハの面方向において均一に処理が可能なウェハ処理装置を得ること。【解決手段】ウェハ処理装置１は、ウェハカセットと、処理槽３と、ウェハカセットを処理槽３に対して搬入および搬出するウェハカセット搬送部４と、を備える。ウェハカセット搬送部４は、ウェハカセット２を把持して移送する移送部３３と、ウェハカセット２に収容されたウェハ５の上部に載置されてウェハ５を上方から押さえるウェハ押さえ部３２と、ウェハ押さえ部３２を保持溝の並列方向に移動させることによりウェハカセット２におけるウェハ５の保持溝の並列方向における位置を保持溝内において移動させるウェハ押さえ移動部３５と、を備える。【選択図】図１ |
