基板搬送装置及び基板搬送方法

摘要

【課題】基板搬送装置の雰囲気を良好にすることを目的とする。【解決手段】基板を搬送する搬送室と、基板に処理を施す処理室と、を有し、前記搬送室は、該搬送室の汚染状態を検出する汚染モニタを有する基板搬送装置が提供される。【選択図】図２