| 摘要 |
【課題】粒子の計測に用いる共振レーザ光の発振モードやその変化を、より簡便な装置構成で検知することができるようにした粒子計測装置を提供する。【解決手段】この粒子計測装置１００は、レーザ光を２つの対向する反射鏡２ａ，２ｂの間を往復させて、該レーザ光のエネルギーを増幅させた共振レーザ光３を形成する光共振器１と、測定対象となるエアロゾルの粒子４が、前記共振レーザ光３の光路を横切るように移送する粒子移送手段２４，２５と、前記エアロゾルの粒子４が前記共振レーザ光３に照射された際に発する散乱光６を受光する散乱光受光手段７と、前記散乱光受光手段７により受光された受光信号を受信する処理装置８と、を備え、前記処理装置８は、前記受光信号に基づいて受光パルスを出力し、前記受光パルスのうち時間的に隣り合うもののパルス間の時間幅を導出するように構成されている。【選択図】図１ |
