| 摘要 |
高強度の磁場用のシングルチップ基準ブリッジ式磁場センサであって、該センサは、基板（１）と、基準アームと、感知アームと、遮へい構造（４）と、減衰器（５）とを備える。基準アームおよび感知アームは、１つ以上の同一な電気的に相互接続された磁気抵抗感知素子を備える基準素子列（３）および感知素子列（２）の少なくとも２つの行／列を備え、基準素子列（３）および感知素子列（２）は、互いに交互に配置され、各々の基準素子列（３）は、その上に遮へい構造（４）を有するように設計され、各々の感知素子列（２）は、その上に減衰器（５）を有するように設計される。磁気抵抗センサ素子は、ＡＭＲ、ＧＭＲ、またはＴＭＲセンサ素子であってよい。遮へい構造（４）および減衰器（５）は、パーマロイなどの軟強磁性材料で構成された長い矩形のバーのアレイである。センサを、３つの異なるブリッジ構造、すなわち疑似ブリッジ、基準ハーフブリッジ、および基準フルブリッジにて実行できる。このセンサは、少ない電力消費、優れた線形性、および高強度の磁場における動作を可能にする幅広い動作範囲などのいくつかの利点を有する。【選択図】図２ |
