| 摘要 |
【課題】ガラス基板を搬送させながら、ガラス基板の搬送路を挟む両側に配置された１対の洗浄部材を用いてガラス基板の洗浄をスムーズに行うことができる。【解決手段】ガラス基板を搬送させながら、ガラス基板を板厚方向から挟むよう配置された少なくとも１対の洗浄部材を用いて、ガラス基板の主表面を洗浄する洗浄工程を備える。この方法は、ガラス基板が所定位置に搬送されたことを検知する検知工程をさらに備えており、ガラス基板と当接する１対の洗浄部材同士の間隔が小さくなるように、前記検知に基づいて、１対の洗浄部材のうち少なくとも一方の洗浄部材を移動させることで洗浄部材をガラス基板に当接させ、ガラス基板の主表面の洗浄を行う。【選択図】図４ |
