| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Festkörpergelenk (22, 22‘) mit einem bei einer Betätigung des Festkörpergelenkes (22, 22‘) elastisch verformbaren Bereich (23), wobei das Festkörpergelenk (22, 22‘) mindestens ein zusätzliches Element (24, 24‘) aufweist, welches bei einer Auslenkung des Festkörpergelenkes (22, 22‘) eine Kraft verursacht, die einer Kraft entgegenwirkt, welche von dem elastisch verformbaren Bereich (23) des Festkörpergelenkes (22, 22‘) bei der Auslenkung ausgeübt wird. Daneben betrifft die Erfindung eine mit dem erfindungsgemäßen Festkörpergelenk (22, 22‘) ausgestattete Projektionsbelichtungsanlage für die Hableiterlithographie (1). |
