| 摘要 |
【解決手段】多体システムの同期位置決めを制御する制御デバイスが記載される。制御デバイスは、多体システムの第１物体（ＭＴ）の所望位置と測定位置の差を示す第１誤差信号（ｅｒｓ）と、多体システムの第２物体（ＷＴ）の所望位置と測定位置の差を示す第２誤差信号（ｅｗｓ）とを受信する入力を備える。制御デバイスは、第１誤差信号に基づき一次第１駆動信号（Ｆｒ１）を決定し、第２誤差信号に基づき一次第２駆動信号（Ｆｗ１）を決定し、第２誤差信号に基づき二次第１駆動信号（Ｆｒ２）を決定し、第１誤差信号に基づき二次第２駆動信号（Ｆｗ２）を決定し、一次第１駆動信号と二次第１駆動信号を結合して結合第１駆動信号（Ｆｒｃ）を取得し、一次第２駆動信号と二次第２駆動信号を結合して結合第２駆動信号（Ｆｗｃ）を取得するよう構成される。制御デバイスは、結合第１駆動信号および結合第２駆動信号を位置決めデバイスに出力する出力を備える。【選択図】図４ |
