| 摘要 |
本発明は、機械治具ヘッド及び機械テーブルを有するＣＮＣ機械の位置決め精度を、ｘ、ｙ、ｚ座標系を使用して検査する方法である。ｚ座標は、機械テーブル表面に直交する座標であり、当該方法は、ａ）機械テーブル上に複数の容器を配列するステップであって、当該容器は、互いに流体接続され、液体が充填された連通容器システムを形成するステップと、ｂ）機械治具ヘッドに距離センサを取り付けるステップと、ｃ）容器の一つにおける液体表面上の直交位置に機械治具ヘッドを位置決めするステップと、ｄ）距離センサを液体表面に接近させて当該距離センサが当該液体表面に接触するｚ座標を決定し、又は、液体表面上のｚ方向における機械治具ヘッドの事前に決定された位置に対しては、距離センサ及び液体表面間の距離を決定するステップとを含み、ステップｃ）及びｄ）は、各容器に対して液体表面のｚ座標を決定するべく繰り返される。 |
