イオン注入生産性向上方法

摘要

ワークピースの処理方法が開示され、その方法はイオンチャンバを最初に所望のドーパント種と他の種で被覆する。このコンディショニングプロセスに続いて、フッ素と所望のドーパント種を含むフィードガスをチャンバに導入し、イオン化する。その後、チャンバからイオンを抽出し、ワークピースに向けて加速し、最初に質量分析しないでワークピースに注入する。コンディショニングプロセス中に使用する前記他の種は３族、４族又は５族元素とし得る。所望のドーパント種はホウ素とし得る。