| 摘要 |
【課題】光路用コアが、高さが高くなっているとともに幅が狭くなっていても、その光路用コアが倒伏しない光導波路およびその製法を提供する。【解決手段】光導波路は、アンダークラッド層１と、このアンダークラッド層１の表面に突出形成された線状の光路用コア２と、光路用コア２と隙間をあけた状態で、アンダークラッド層１の表面に突出形成された、光路用コア２の倒伏防止用のダミーコアＤとを備えている。光路用コア２およびダミーコアＤは、コア形成用の感光性樹脂層を、光路用コア２およびダミーコアＤのパターンに対応する開口パターンが形成されているフォトマスクを介して、感光性樹脂層をパターンに露光した後、現像液を用い現像することにより形成される。【選択図】図１ |
