摘要 |
【課題】簡単且つ省スペースの設備で効率よく高精度の精製ガスを製造できる。【解決手段】ガス精製装置1は、原料ガスタンク4から原料ガスを供給する管路2に第一吸着塔6Aと第二吸着塔6Bを連結した。原料ガスを第一吸着塔6Aと第二吸着塔6Bの一方に供給して二酸化炭素ガスを吸着させて一次精製ガスを分離精製し、他方で二酸化炭素ガスを排出する。これを交互に繰り返して第一吸着塔6A及び第二吸着塔6Bで一次精製ガスを交互に製造する。均圧工程で、第一吸着塔6A及び第二吸着塔6Bで精製した一次精製ガスをバイパス管路2bによって原料ガスタンク4の上流側の管路2に戻す。この一次精製ガスを原料ガスと混合して第一吸着塔6Aまたは第二吸着塔6Bに再び供給してよりメタン濃度の高い一次精製ガスを製造すると共に精製ガスの回収率を向上させる。【選択図】図1 |