发明名称 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
摘要 【課題】液滴吐出装置の機能液滴吐出ヘッドとワーク上のバンクを高精度に位置合わせする。【解決手段】液滴吐出装置1は、液滴吐出ヘッド34と、ワークステージ20と、第1の撮像装置41と、を有し、ワークWが主走査方向(X軸方向)に沿って所定の距離移動したときに第1の撮像装置41で取得される撮像画像に基づいてワークW上に形成された基準マークの位置を検出すると共に、移動量検出機構23で検出されるワークステージ20の移動量に基づいて基準マークの位置を推定する。そして、撮像画像に基づいて検出される基準マークの位置と、ワークステージ20の移動量に基づいて推定される基準マークの位置との相関関係に基づいて、ワークWと液滴吐出ヘッド34との相対的な位置を補正する。【選択図】図1
申请公布号 JP2017013011(A) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20150133323 申请日期 2015.07.02
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 吉富 済;尾上 幸太朗;篠崎 賢哉
分类号 B05C5/00;B05C11/00;B05D1/26;B05D3/00 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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