| 摘要 |
【課題】ブレーク処理による基板の分断の成否を迅速かつ確実に検出可能なブレーク装置を提供する。【解決手段】基板をスクライブラインに沿ってブレークする装置が、基板をスクライブラインの延在方向とブレーク刃の刃先の延在方向とが一致するようにテーブルに載置した状態でブレーク刃を所定の下降停止位置まで下降させることによって、基板を分断するように構成されてなるとともに、撮像手段は、ブレーク刃の下降の開始とともに繰り返し基板を撮像できるようになっており、分断検出手段は、撮像画像が取得されるたびに、当該取得画像に基づいて生成される判定指標値が所定の閾値を超えているか否かに基づいて、分断の成否を判定する。【選択図】図２ |
