| 摘要 |
【課題】基板上に異なる複数の膜厚領域を有する、グラデーションタイプのＮＤフィルタなどの光学フィルタにおいて、入射光に対する反射を低減しつつ、位相差を低減する光学フィルタを提供する。【解決手段】可視波長領域の光を透過する透明基板上に、光学的な機能を有する光学膜と、光の波長サイズよりも短いピッチで無数に配置された微細構造により形成された、反射低減効果を有する微細構造体とを備え、前記光学膜は膜厚が異なる複数の領域を前記基板上に有した光学フィルタの、前記複数の領域における入射光に対する位相差を低減するように、前記微細構造の形状を、前記複数の領域でそれぞれ変化させることを特徴とする。【選択図】図２ |
