| 发明名称 |
圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
| 摘要 |
【課題】圧電素子からの駆動力の伝達ロスを低減する。【解決手段】圧電駆動装置１０は、振動体２１０と、前記振動体２１０と一体に形成された支持部２２０と、前記振動体２１０の少なくとも一方の面に第１電極膜１３０と圧電体膜１４０と第２電極膜１５０によって形成された圧電素子１１０と、を備える。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2017017916(A) |
申请公布日期 |
2017.01.19 |
| 申请号 |
JP20150134198 |
申请日期 |
2015.07.03 |
| 申请人 |
セイコーエプソン株式会社 |
发明人 |
荒川 豊;小西 晃雄;橋本 泰治;宮澤 修;岩▲崎▼ 友寿;露木 幸一郎 |
| 分类号 |
H02N2/00;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/318 |
主分类号 |
H02N2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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